Applikazzjonijiet Kritiċi Semikondutturi
Is-sistemi tagħna ta 'ġenerazzjoni tan-nitroġenu jappoġġjaw l-aktar proċessi ta' manifattura ta 'semikondutturi impenjattivi.
Fabbrikazzjoni tal-wejfer
Nitroġenu ta' purità ultra-għolja għall-ipproċessar, it-tindif u l-immaniġġjar tal-wejfers biex jipprevjenu l-ossidazzjoni u l-kontaminazzjoni waqt passi kritiċi tal-fabbrikazzjoni.
Depożizzjoni Kimika tal-Fwar (CVD)
Atmosferi ta' nitroġenu ta'-purità għolja għal proċessi CVD, li jiżguraw depożizzjoni preċiża ta' film irqiq mingħajr interferenza ta 'ossiġnu jew impuritajiet.
Inċiżjoni bil-plażma
Atmosferi ta 'nitroġenu kkontrollati għal proċessi ta' inċiżjoni fil-plażma, li jżommu trasferiment preċiż tal-mudell u jipprevjenu ossidazzjoni mhux mixtieqa.
Saldjar mill-ġdid
Atmosferi ta 'nitroġenu inerti għall-issaldjar mill-ġdid fl-ippakkjar u l-assemblaġġ taċ-ċippa, inaqqsu l-ossidazzjoni u jtejbu l-kwalità tal-ġonta tal-istann.
Die Bonding
Blanketing tan-nitroġenu waqt il-proċessi tat-twaħħil tad-die biex jipprevjeni l-ossidazzjoni u jiżgura l-aħjar adeżjoni f'operazzjonijiet ta 'ppakkjar tas-semikondutturi.
Pressurizzazzjoni tal-Kamra Nadifa
Nitroġenu ta'-purità għolja għall-pressjoni u t-tindif tal-kamra nadifa, li jżommu ambjenti ħielsa mill-kontaminazzjoni-kritiċi għall-manifattura tas-semikondutturi.
Għaliex Agħżel fuq-Ġenerazzjoni tan-Nitroġenu fis-Sit
Elimina d-dipendenzi tal-katina tal-provvista u tnaqqas l-ispejjeż bi produzzjoni ta' nitroġenu affidabbli fuq-sit.
Ultra-Purità Għolja
Ikseb il-purità tan-nitroġenu sa 99.9999% bit-teknoloġija PSA avvanzata tagħna u s-sistemi ta 'purifikazzjoni fakultattivi, li jissodisfaw l-istandards l-aktar stretti tal-industrija tas-semikondutturi.
Tnaqqis fl-Ispejjeż
Naqqas l-ispejjeż tan-nitroġenu sa 90% meta mqabbel mal-kunsinna ta' nitroġenu likwidu, b'ROI rapidu tipikament miksub fi żmien 12-24 xahar għal operazzjonijiet ta' semikondutturi ta' volum għoli.
Provvista Kontinwa
Elimina l-interruzzjonijiet tal-provvista u d-dewmien fil-kunsinna b'ġenerazzjoni ta' nitroġenu 24/7 fuq-talba, u tiżgura produzzjoni ta' semikondutturi mingħajr interruzzjoni.
Kontroll tal-Proċess
Żomm kontroll preċiż fuq il-purità tan-nitroġenu, ir-rata tal-fluss, u l-pressjoni b'sistemi avvanzati ta' kontroll ibbażati fuq PLC-u monitoraġġ-ħin reali.
Titjib tas-Sigurtà
Elimina r-riskji assoċjati mal-immaniġġjar u l-ħażna tan-nitroġenu likwidu krijoġeniku, ittejjeb is-sigurtà fuq il-post tax-xogħol fil-faċilitajiet tas-semikondutturi.
Skalabbiltà
Skala faċilment il-kapaċità tal-produzzjoni tan-nitroġenu hekk kif l-operazzjonijiet tal-manifattura tas-semikondutturi tiegħek jespandu, mingħajr limitazzjonijiet tal-infrastruttura.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
Inġinerija għall-preċiżjoni u l-affidabbiltà f'ambjenti tal-manifattura tas-semikondutturi.
Livelli ta' Purità
- Purità għolja standard: 99.999% (5N) għal applikazzjonijiet ġenerali ta 'semikondutturi
- Purità ultra-għolja: 99.9999% (6N) għal proċessi kritiċi ta' fabbrikazzjoni ta' wejfer
- Purifikazzjoni Deoxo fakultattiva għal-livelli ta 'ossiġnu<0.1 ppm
- Monitoraġġ kontinwu tal-purità b'analizzatur tal-ossiġnu
Speċifikazzjonijiet tas-Sistema
- Rati tal-fluss: 10-2000 Nm³/hr (standard), kapaċitajiet ogħla disponibbli
- Pressjoni operattiva: 4-10 bar (g), customizable għal rekwiżiti speċifiċi
- Punt tan-nida: -40 grad sa -70 grad (b'sistemi ta' dryer fakultattivi)
- Kontroll ibbażat fuq PLC-b'HMI touch screen u logging tad-data
Karatteristiċi Avvanzati
- Operazzjoni awtomatika b'superviżjoni minima meħtieġa
- Monitoraġġ mill-bogħod u kapaċità dijanjostika
- Ħin ta 'startjar rapidu ta' 15-20 minuta
- Operazzjoni-effiċjenti tal-enerġija b'konsum baxx ta' enerġija
Konformità u Standards
- Manifattura ċertifikata ISO 9001:2015
- Jissodisfa l-istandards SEMI għal tagħmir semikonduttur
- Disinn u materjali kompatibbli tal-kamra nadifa
- Dokumentazzjoni komprensiva u appoġġ għall-validazzjoni
Minbarra l-ġeneratur tan-nitroġenu psa, nipproduċu wkoll Ġeneraturi tal-Ossiġenu VPSA, Ġeneraturi tal-Ossiġenu PSA, tankijiet tal-ħażna, skambjaturi tas-sħana u prodotti oħra. Jekk inti interessat fis-Sistemi tan-nitroġenu psa jew prodotti oħra, jekk jogħġbok tħossok liberu li tibgħat email lilsales@gneeheatex.com. Aħna se nkunu kuntenti ħafna li naqduk.


